EXE5200B: Forschungszentrum Imec erhält neuesten High-NA-EUV-Belichter
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Am Imec werden mit ASMLs modernstem Belichter Sub-2nm-Prozesse entwickelt. Der Twinscan EXE:5200B ist für die Serienfertigung ausgelegt. ( Halbleiterfertigung , ASML )
原文链接: Golem